基板尺寸

L220mm*W200mm

真空基板：

带真空铝平板

涂膜速度

涂布头移动速度 0.5-20mm/s，

厚度尺寸精度

±1μm

基材厚度

Max：5mm

涂布行程

180mm左右，行程在触摸屏内无级设置调节

涂覆驱动

涂覆速度在触摸屏内无级设置调节

电源

220VAC0.5KW

传感器

松下高精度激光位移传感器

电机传动

采用松下带制动高精度伺服电机

设备重量

约85Kg

设备尺寸

500mm(L)*400mm(W)*410mm(H).