磁控溅镀源(Sputtering Cathodes)
来源:本站 时间:2024-08-16
Size: 1.3”~ 6”
●Max.RF Power:200W~2KW
●Max. DC Power:350W~6KW
●磁铁与水路分离，有效防止氧化物靶材在溅镀时因高温热胀冷缩裂开损坏.
●氮化铝(AIN)特殊绝缘设计，提供更完全的热传导及电子绝缘·
磁控溅镀源(Sputtering Cathodes)
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