主辊直径	1,000mm(φ) x600/1500mm(D)
真空室	5 chambers (Unwind、Pre-Heat、Coating 、Cooling 、Rewind)
有效涂层宽度	1,350mm/500mm
厚度	15~250μm
速度	0.5~20M/min
传输张力	2~7Kg @1~3 m/min
对准	≤±2mm@1~3m/min
溅射材料	ITO 、Nb₂O5， 、SiO₂、Si、NbzOX、Cu
厚度均匀性	≤±3%
靶材利用率	70%
阴极	Rotatable cathode 4~ 6 sets

    

RTR溅镀